VERSA ®多腔生产应用平台 （CLUSTER PLATFORM）

半导体级中央传输腔室,全自动耐高温机械手

可最多连接六个工艺腔室/功能模块，两个多片进样室

Denton ProcessPro-HV 软件：全过程自动控制，工艺菜单管理数据储存列表，人机界面符合半导体设备SEMI-E95标准。

兼容金属膜和介质膜。可根据工艺需求选配Denton工艺腔室模块：

1. Discovery ® Isoflux超高精度磁控溅射系统模块 (8”）

2. Discovery ® V 垂直磁控溅射系统模块 (8”和12”）

3.Infinity ® 离子束溅射系统模块 (8”)

4. Infinity ®离子束刻蚀系统模块 (8”)

5. Voyager ® PIB 化学气相沉积系统模块 (8”)

可根据工艺需求选配预清洗、计量监控等功能模块