Specialty Sources
射频等离子氮源，氢源和射频等离子氧源，以及高纯臭氧源，可回缩式源炉（用于铟镓铝），电子束蒸发（用于难熔金属）和抗氧化或者氨化源炉。
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射频等离子氮源，氢源和射频等离子氧源，以及高纯臭氧源，可回缩式源炉（用于铟镓铝），电子束蒸发（用于难熔金属）和抗氧化或者氨化源炉。
