INTEGRITY®蒸发镀膜系统

Integrity蒸发系统（大批量生产）

• 炉腔尺寸可订制，最大可镀制直径120英寸样品
• 可同时镀制120片3英寸样品
• 可选配多种电子枪/电阻蒸发源
• 可配备穹顶式/行星式/克努增式/可翻转挂具
• 可选配多种射频/直流离子源
• 可配单探头/双探头/六探头晶振或光控
• 双面溅射，可自动翻转
• SPEEDFLO/RGA