SC-1 ALD & PVD联合系统

SC-1 ALD & PVD联合系统

•可处理4寸到最大8寸样品

•可选温度梯度样品台（30-450℃分布）

•可旋转样品台最高温度可达900℃

•兼容超净间和手套箱

•最多8路气源，其中6路独立进口

•可选臭氧源以及微波等离子体源

•兼容各种在线监测工具如OES, Tof-MS, Ellipsometer

•PVD可选磁控溅射，电子束蒸发，脉冲激光沉积等

•PVD靶材尺寸1-4英寸可选

•PVD可选射频、直流，HIPIMS电源

•可长以下单层或者多层材料：Al2O3, ZnO, SiO2, TiO2, Y2O3, ZrO2, HfO2, Cu, Al, Ti, Mg, Nb, Li 

以及其他，欢迎咨询！