SC-Qube ALD研发型系统
•腔体体积143L-1000L
•前开门结合定制3D样品台，方便进样取样
•工艺最高温度可达500℃
•兼容超净间和手套箱
•最多8路气源，其中6路独立进口
•可选臭氧源
•可长Al2O3, ZnO, SiO2, TiO2, Y2O3, 氮化物等
•为低蒸气压前驱体优化新型起泡运输系统
•超快加热和冷却设计
•快速，均匀，灵活的沉积工艺
•优秀的系统控制和配方创建
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