SC-Optima ALD生产型系统
•腔体体积3L-50L可定制，以适合您的2D和3D样品
•前开门结合定制3D样品台，方便进样取样
•工艺最高温度可达400℃
•兼容超净间和手套箱
•最多10路气源，其中6路独立进口
•可选臭氧源
•可长Al2O3, ZnO, SiO2, TiO2, Y2O3, 氮化物等
•为低蒸气压前驱体优化起泡运输系统
•快速，均匀，灵活的沉积工艺
•优秀的系统控制和配方创建
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