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EXPLORER®蒸发/溅射镀膜系统

EXPLORER®蒸发/溅射镀膜系统

Explorer蒸发/溅射系统（研发/小批量生产）

可处理直径4英寸，6英寸，8英寸样品
可配单片/多片自动进样室(Loadlock)
可分别或组合配置溅射靶枪/电子枪电阻/离子源
加热/水冷/液氮冷/自由调温工件台
多种炉腔尺寸可选
可选双腔/三腔蒸发系统
手动/自动可调角度工件台

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