SC-1 ALD & PVD联合系统

•可处理4寸到最大8寸样品
•可选温度梯度样品台（30-450℃分布）
•可旋转样品台最高温度可达900℃
•兼容超净间和手套箱
•最多8路气源，其中6路独立进口
•可选臭氧源以及微波等离子体源
•兼容各种在线监测工具如OES, Tof-MS, Ellipsometer
•PVD可选磁控溅射，电子束蒸发，脉冲激光沉积等
•PVD靶材尺寸1-4英寸可选
•PVD可选射频、直流，HIPIMS电源
•可长以下单层或者多层材料：Al2O3, ZnO, 
SiO2, TiO2, Y2O3, ZrO2, HfO2, Cu, Al, Ti, Mg, Nb, Li
以及其他，欢迎咨询！