DISCOVERY ®磁控溅射系统

配置指标/机型

Discovery200/300

Discovery V

溅射方式

共焦

垂直

靶枪形状

圆靶

圆靶

靶枪数量/尺寸

D200: <=(4)  4”

D300:  <=(4) 6”

(1) 12”

镀膜类型

金属膜/介质膜

金属膜/介质膜

基片尺寸

D200: <=8”

D300:  <=12”

<=8”

均匀性

<+/-5%

<+/-2%

扩展性

兼容VERSA ®多腔应用平台，

可选配单片/多片进样室 

可选配单片/多片进样室